El 28 de septiembre de 2026, Anton Alikhanov, ministro ruso de Industria y Comercio, dijo que las pruebas de aceptación del litógrafo de 130 nm comenzarían en otoño y que el plan era terminarlas antes de acabar el año. También afirmó que los láseres excímeros rusos ya se habían probado.
El calendario previsto para el litógrafo de 130 nm
Alikhanov describió las pruebas de aceptación de la máquina completa como un paso futuro: su inicio estaba previsto para el otoño de 2026 y su finalización, antes de que terminara ese año.
Los láseres probados y la máquina completa
Los láseres excímeros son la fuente de radiación de este tipo de equipo. Alikhanov dijo que los láseres rusos ya habían sido probados; por separado, situó en otoño las pruebas de aceptación del litógrafo completo.
El proyecto de 90 nm sigue en preparación
Alikhanov también dijo que la especificación técnica de un proyecto de fotolitografía por escaneo de 90 nm estaba preparada y que se estaba seleccionando a quien lo ejecutaría.
