28 września 2026 r. Anton Alikhanov, minister przemysłu i handlu Rosji, powiedział, że testy odbiorcze kompletnego litografu 130 nm planowano rozpocząć jesienią i zakończyć przed końcem roku. Poinformował też, że rosyjskie lasery ekscymerowe zostały już przetestowane.
Rosja zaplanowała testy odbiorcze litografu 130 nm
Maszyna ma służyć do produkcji układów scalonych w procesie 130 nm. Alikhanov opisał jej rozwój jako zbliżający się do końca. W jego wypowiedzi z 28 września testy odbiorcze całego urządzenia były jeszcze planowanym etapem: miały ruszyć jesienią 2026 r., a zakończyć się przed końcem roku.
Testy odbiorcze dotyczą kompletnej maszyny. To osobny etap od sprawdzenia jej podzespołów, dlatego informacja o przetestowanych laserach nie oznacza, że przetestowano już cały litograf.
Test laserów to nie test całej maszyny
Lasery ekscymerowe są źródłem promieniowania w takich urządzeniach. Alikhanov powiedział, że rosyjskie lasery tego typu zostały przetestowane. Osobno wskazał na planowane testy odbiorcze całego litografu — z rozpoczęciem jesienią i zakładanym zakończeniem przed końcem 2026 roku.
Projekt 90 nm pozostawał na etapie planowania
Alikhanov poinformował również, że przygotowano założenia techniczne dla skaningowej maszyny fotolitograficznej 90 nm, a wybór wykonawcy był w toku. To status prac przygotowawczych nad odrębnym projektem.
