Das Centre for Technology & Statecraft (CTS) schätzte in einem am 26. September 2026 veröffentlichten Bericht, dass Chipfabriken mit chinesischen Eigentümern im ersten Quartal 2026 insgesamt 343 DUV-Immersionslithografieanlagen (DUVi) besaßen. Die Organisation empfiehlt, DUVi-Exporte nach China zu verbieten und Ersatzteile, Wartung sowie die Umleitung bereits installierter Anlagen stärker zu kontrollieren.
Was die Schätzungen erfassen
Die Zahl 343 bezieht sich auf Chipfabriken in chinesischem Besitz. Für China einschließlich multinationaler Betreiber schätzt CTS den Bestand auf rund 396 Systeme. Die größere Schätzung hat eine Modellspanne von 361 bis 444 Anlagen.
| Erfasste Chipfabriken | Geschätzte DUVi-Systeme | Bezugszeitraum |
| In chinesischem Besitz | 343 | Erstes Quartal 2026 |
| In China, einschließlich multinationaler Betreiber | Rund 396 (Modellspanne: 361–444) | Erstes Quartal 2026 |
Welche Anlagen die Schätzung umfasst
Die 343 Systeme sind nicht ausschließlich Anlagen von ASML. CTS ordnet der Flotte rund 270 ASML NXT:1980i, 22 NXT:2050i und sechs NXT:2100i zu; weitere 45 Systeme bezeichnet die Organisation als weniger fortgeschrittene DUVi-Anlagen. CTS schätzt ASMLs Anteil am DUVi-Markt auf etwa 99 Prozent und Nikons Anteil auf etwa ein Prozent.
CTS zufolge kann das Modell NXT:1980i die Fertigung von 7-nm-Logik und HBM2e-Speicher unterstützen. Diese technische Einschätzung bezieht sich auf dieses Modell.
CTS empfiehlt strengere Exportkontrollen
CTS empfiehlt ein China-weites Verbot weiterer DUVi-Exporte. Zusätzlich plädiert die Organisation für Kontrollen von Ersatzteilen und Wartungsleistungen sowie für Maßnahmen gegen die Umleitung bereits installierter Anlagen.
