Le 28 septembre 2026, Anton Alikhanov, ministre russe de l’Industrie et du Commerce, a déclaré que les essais de réception de la machine de lithographie de 130 nm devaient commencer à l’automne et s’achever avant la fin de l’année. Il a indiqué que les lasers excimères russes avaient déjà été testés, une étape distincte de la réception de la machine complète.
Les essais de la machine complète étaient prévus à l’automne
Les essais de réception servent à évaluer l’ensemble de l’équipement. Dans sa déclaration du 28 septembre, Anton Alikhanov présentait leur début à l’automne 2026 et leur achèvement avant la fin de l’année comme le calendrier prévu pour la machine de 130 nm.
Les lasers excimères — la source lumineuse de ce type d’installation — avaient, selon le ministre, déjà été testés. Ces essais portaient sur les lasers, tandis que les essais de réception prévus concernaient le lithographe complet.
Le projet de 90 nm en est au stade de la planification
Anton Alikhanov a également indiqué qu’un cahier des charges technique avait été préparé pour un projet distinct de machine de photolithographie par balayage à 90 nm. La sélection d’un maître d’œuvre était en cours.
