Op 28 september 2026 zei de Russische minister van Industrie en Handel Anton Alikhanov dat de ontwikkeling van een lithografiemachine voor chips van 130 nm de afronding naderde. Russische excimeerlasers waren volgens hem getest; de acceptatietests van de volledige machine stonden gepland voor het najaar en moesten vóór het einde van 2026 zijn afgerond.
Rusland plande acceptatietests voor de 130nm-lithografiemachine
Acceptatietests beoordelen of een complete machine aan de eisen voldoet voordat die wordt geaccepteerd. Alikhanov beschreef op 28 september 2026 de tests van de volledige lithografiemachine als een geplande stap, niet als een afgeronde test.
Geteste lasers zijn niet hetzelfde als een geteste machine
Alikhanov zei dat Russische excimeerlasers al waren getest. Zulke lasers leveren licht voor lithografiesystemen. Die test van een onderdeel stond los van de geplande acceptatietests van de complete 130nm-machine.
Het 90nm-project bevindt zich nog in de planningsfase
Voor een afzonderlijke scanning-fotolithografiemachine van 90 nm was volgens Alikhanov de technische opdracht voorbereid. Ook was de selectie van een uitvoerder gaande.
