Anton Alikhanov sagte am 28. September 2026, die Abnahmetests der vollständigen russischen 130-nm-Lithografieanlage sollten im Herbst beginnen und bis Jahresende abgeschlossen sein. Russische Excimerlaser seien bereits getestet worden. Die Laserprüfung und die geplanten Tests der Gesamtanlage sind zwei verschiedene Projektstände.
Russland plante Abnahmetests für die 130-nm-Anlage
Für die komplette Anlage sollten die Abnahmetests im Herbst 2026 starten. Alikhanov, Russlands Minister für Industrie und Handel, erklärte am 28. September, sie sollten vor Ende des Jahres abgeschlossen sein. Ein Abnahmetest prüft eine Anlage als Ganzes, bevor sie abgenommen wird.
Getestete Laser und geplante Maschinenprüfung
Alikhanov zufolge waren russische Excimerlaser bereits getestet. Diese Laser liefern die Strahlung für Lithografieanlagen. Für die vollständige 130-nm-Maschine waren die Abnahmetests dagegen noch als nächster Schritt vorgesehen.
Das 90-nm-Projekt steht in einer früheren Phase
Für eine Scanning-Photolithografieanlage mit 90 nm Auflösung war laut Alikhanov die technische Aufgabenstellung vorbereitet; zugleich lief die Auswahl eines Ausführenden. Für diese Anlage beschrieb er damit einen früheren Projektstand als für den 130-nm-Lithografen, dessen Abnahmetests bereits terminiert waren.
