Il 28 settembre 2026 Anton Alikhanov, ministro russo dell’Industria e del Commercio, ha dichiarato che i test di accettazione del litografo russo da 130 nm erano previsti per l’autunno, con conclusione pianificata entro la fine dell’anno. Alikhanov ha descritto lo sviluppo della macchina come vicino alla conclusione e ha detto che i laser russi a eccimeri erano già stati testati.
I test dei laser riguardavano un componente
I laser a eccimeri sono una fonte di luce usata nei sistemi di litografia. Alikhanov ha riferito che questi componenti erano già stati sottoposti a test; per la macchina completa, invece, il calendario indicato prevedeva test di accettazione nell’autunno 2026. Queste verifiche riguardano l’apparecchiatura nel suo insieme.
Il progetto da 90 nm è alla fase del capitolato
Nella stessa dichiarazione, Alikhanov ha detto che era stato preparato il capitolato tecnico per un sistema di fotolitografia a scansione da 90 nm e che la selezione dell’esecutore era in corso.
