Am 8. Oktober 2026 wurde über einen begutachteten Fachaufsatz von Ingenieuren bei ASML und Carl Zeiss berichtet, der Hyper-NA als mögliche Nachfolgerin von High-NA beschreibt. Die Technologie könnte in etwa zehn Jahren einsatzbereit sein. ASML soll die Entwicklung begonnen haben, hat sich aber nicht zum Bau verpflichtet.
Hyper-NA als mögliche Nachfolgerin von High-NA
Hyper-NA ist als nächste Stufe der EUV-Lithografie nach High-NA gedacht. Der Fachaufsatz beschreibt eine mögliche Einsatzreife in etwa zehn Jahren – einen langfristigen technischen Ausblick, keinen angekündigten Liefertermin.
High-NA ist die Vorgängergeneration. Wie Intel diese Technologie für ausgewählte Schichten eines Teils seiner Panther-Lake-Prozessoren einsetzt, beschreibt unser Bericht über Intels High-NA-EUV-Einsatz.
Das berichtete Potenzial für 5 nm
Dem Fachaufsatz zufolge könnte Hyper-NA Strukturen von nur 5 nm belichten. Die Autoren ordnen diese mögliche Strukturgröße als mehr als ein Drittel kleiner ein als jene, die das aktuelle High-NA-System belichten kann.
Das ist der technische Kern des Vorschlags: Hyper-NA soll die Übertragung noch feinerer Schaltkreismuster ermöglichen. Die genannten 5 nm beziehen sich auf eine mögliche Fähigkeit des geplanten Systems.
Optik, Lichtquelle und EUV-Grundlage
Die Autoren beschreiben Spiegel von Carl Zeiss als präzise genug für Hyper-NA. Außerdem könne ASML seine bestehende Lichtquelle weiterverwenden. Das vorgesehene System wäre demnach nur wenig größer als Anlagen der High-NA-Generation.
Bei der EUV-Lithografie projizieren Licht und reflektierende Optiken ein Schaltkreismuster auf eine lichtempfindliche Schicht eines Siliziumwafers. EUV-Licht hat eine Wellenlänge von 13,5 nm und wird von Luft absorbiert; deshalb arbeitet der Prozess im Vakuum.
Entwicklungsstand und nächste technische Grenze
ASML soll mit der Entwicklung von Hyper-NA begonnen haben, aber keinen Bau zugesagt haben. Die Autoren nennen weiterhin technische Herausforderungen, die vor einer Umsetzung zu bewältigen wären.
Für Systeme jenseits von Hyper-NA könnten schließlich noch kürzere Lichtwellenlängen nötig sein. Die Erforschung solcher Ansätze ist nach Einschätzung der Autoren weiterhin ein Thema der akademischen Forschung.
